光刻技术专业委员会

    职别

    姓名

    单位

    名誉主任委员委员

    曹健林

    科学技术部

    主任委员

    叶甜春

    中科院集成电路创新研究院

    秘书长

    韦亚一

    中国科学院微电子研究所

    副主任委员

    李艳秋

    北京理工大学

    金春水

    中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

    杨怀江

    中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

    杨国强

    中国科学院大学